對XD系列真空(kōng)泵的介紹

XD系列真空(kong)泵 是指該泵可(ke)在常壓下啓(qi)動抽氣，并可(kě)将抽吸的氣(qì)體直接排放(fang)到大氣中。泵(beng)腔内無油或(huo)其他工作介(jiè)質，壓力等于(yu)或✌️接近油封(fēng)真空泵的機(ji)械真空泵。

截至(zhi) 2013年，真空行業(yè)使用的機械(xie)真空泵大多(duo)采用油、水或(huò)其他聚合物(wu)等流體作爲(wei)泵的工作介(jie)質，在泵内具(jù)有冷卻、密封(fēng)、潤滑等多重(zhong)功能。随着科(ke)學技術的發(fā)展和真空應(ying)用領域的擴(kuò)大，原有的機(ji)💃械真空泵及(ji)其排氣系統(tǒng)有兩個迫切(qie)需要解決的(de)問題：一是泵(bèng)👄的工作介質(zhì)倒流，污染被(bèi)✨抽容器，而這(zhe)種回流在很(hen)多情況下會(hui)影響産品的(de)質量和數量(liàng)，增加設備的(de)🤞維護成本。其(qi)次，真空泵中(zhong)的介質由于(yu)某些過程中(zhōng)的反應物而(ér)嚴重變質，使(shǐ)泵無法正常(cháng)🌂工作。

對于(yú)普通的無油(you)真空系統，雖(sui)然可以使用(yong)油封真空泵(bèng)和🏃🏻‍♂️冷🌏阱或吸(xī)附阱等附件(jiàn)來防止回流(liu)，但不能完全(quán)解決問題🤞，使(shi)系統複雜。使(shi)用合适類型(xíng)的 XD系列真空泵(bèng) 可(kě)以達到預期(qi)的效果。

XD系列真(zhen)空泵 應用廣泛(fan)，主要表現在(zài)以下幾個方(fang)面：

1、低壓(ya)化學氣相沉(chen)積多晶矽制(zhi)備工藝；

2、半導體蝕刻(kè)工藝。 XD系列真空(kong)泵 在這些生産(chǎn)過程中經常(chang)使用或産生(shēng)腐蝕性氣體(ti)和磨料顆粒(lì)；

3、對于除(chú)半導體工藝(yì)外的一些會(huì)産生顆粒的(de)工藝，預計🐆顆(ke)粒不會混入(rù) XD系(xi)列真空泵 的泵(beng)油中，預計顆(kē)粒會從泵中(zhong)排出，某種類(lei)型的幹式機(jī)械真空泵可(ke)以滿足要求(qiú)；

4、在化工(gōng)、醫藥、食品行(hang)業的蒸餾、幹(gàn)燥、脫氣、包裝(zhuang)等過程中🏃‍♂️，應(ying)💔防止有機溶(róng)劑造成污染(rǎn)，宜選用 XD系列真(zhen)空泵 ；

5、 XD系列真(zhēn)空泵 用作一般(bān)無油清潔真(zhēn)空系統的前(qian)級泵，防止油(yóu)污。